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論文・著書情報


タイトル
和文:表面波励起プラズマCVD法によるアモルファス炭素膜の作製 
英文: 
著者
和文: 赤坂大樹, 青木佑一, 古川雅一, 大竹尚登.  
英文: 赤坂大樹, 青木佑一, 古川雅一, 大竹尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 498-498
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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