ナノパルスプラズマCVD法による大気圧下でのDLC膜合成(第2報) | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノパルスプラズマCVD法による大気圧下でのDLC膜合成(第2報)
英文:

著者

和文:	近藤好正, 齋藤隆雄, 細野慎太郎, 今西雄一郎, 中村幸則, 大竹尚登.
英文:	近藤好正, 齋藤隆雄, 細野慎太郎, 今西雄一郎, 中村幸則, 大竹尚登.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2004 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 631-632

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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