高温その場TEM観察によるYSZ/Si薄膜結晶化のダイナミクス

論文・著書情報

タイトル

和文:	高温その場TEM観察によるYSZ/Si薄膜結晶化のダイナミクス
英文:	Dynamics of crystallization of YSZ/Si thin film by high temperature in-situ TEM method

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会第17回秋季シンポジウム講演予稿集
英文:	17th Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 招待講演 No. 3D01 pp. 39

出版年月

2004年9月

出版者

和文:	日本セラミックス協会第17回秋季シンポジウム講演予稿集
英文:	17th Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:	北陸先端科学技術大学院大学　金沢
英文: