Properties of Silicon Doped SiO2 Thin Films Deposited by  Co-Sputtering of Silicon and Silicon Dioxide

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Properties of Silicon Doped SiO2 Thin Films Deposited by Co-Sputtering of Silicon and Silicon Dioxide

著者

和文:	A. SANDHU, Y. Sho, T. Kitano, M. Iwase, T. Izumi, T. Yabe, S. Nozaki, H. Morisaki.
英文:	A. SANDHU, Y. Sho, T. Kitano, M. Iwase, T. Izumi, T. Yabe, S. Nozaki, H. Morisaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Surface Science

巻, 号, ページ

Vol. 117/118 pp. 634-637

出版年月

1997年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: