Mechanical Properties of DLC Films Prepared inside of Micro-holes by Pulse Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Properties of DLC Films Prepared inside of Micro-holes by Pulse Plasma CVD

著者

和文:	X. D. Yang, T. Saito, N, Nakamura, Y, Kondo, N. Ohtake.
英文:	X. D. Yang, T. Saito, N, Nakamura, Y, Kondo, N. Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Diamond and Related Materials

巻, 号, ページ

Vol. 13 pp. 1984-1988

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文:

DOI