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論文・著書情報


タイトル
和文:マグネトロンCVD法によるDLC膜の高速合成 
英文: 
著者
和文: 斉藤雅典, 大竹尚登, 斉藤隆雄, 青木佑一, 近藤好正, 中村幸則.  
英文: 斉藤雅典, 大竹尚登, 斉藤隆雄, 青木佑一, 近藤好正, 中村幸則.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第１８回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 110-111
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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