Ferroelectric thin film depositions for various types of FeRAMs (ferroelectric random access memories)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ferroelectric thin film depositions for various types of FeRAMs (ferroelectric random access memories)

著者

和文:	Y.Fujisaki, H.Ishiwara.
英文:	Y.Fujisaki, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Fall Meeting of Mater. Res. Soc. (Sympo. D ; Materials and Processes for Nonvolatile Memories), Boston

巻, 号, ページ

No. D2.1

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: