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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Characterization of BLT films formed by using a flash-annealing process on Pt/(Cr,Ti)N/TiN/Ti bottom electrode 
著者
和文: H.Ohki, H.Ishiwara.  
英文: H.Ohki, H.Ishiwara.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Integrated Ferroelectrics 
巻, 号, ページ Vol. 52        pp. 215-222
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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