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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Leakage current suppression of Pt/Bi4-XLaXTi3O12/Ru capacitors by post-annealing of Ru films 
著者
和文: T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.  
英文: T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Integrated Ferroelectrics 
巻, 号, ページ Vol. 62        pp. 171-176
出版年月 2004年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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