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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノメートル分解能を有するXY弾性表面波モータ 
英文:XY Surface Acoustic Wave Motor with Nanometer Resolution 
著者
和文: 重松隆史, 黒澤実.  
英文: T. Shigematsu, M. K. Kurosawa.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演論文集 
英文:Proc. of 21st. Sensor Symp. 
巻, 号, ページ         pp. 237-240
出版年月 2004年10月 
出版者
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会議名称
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開催地
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