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論文・著書情報


タイトル
和文:HfSiON非晶質バッファ層を用いたMFIS型構造の特性 
英文: 
著者
和文: 青木千恵子, 石原宏, 鉾宏真.  
英文: 青木千恵子, 石原宏, 鉾宏真.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第65回応用物理学会学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 4a-Y-2   
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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