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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:C Stability in Si1-yCy Films Grown by Low Temperature Chemical Vapor Deposition 
著者
和文: S, Yagi, K. Abe, A. Yamada, M. Konagai.  
英文: S, Yagi, K. Abe, A. Yamada, M. Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 42    No. 4A    pp. 1499-1502
出版年月 2003年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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