Deposition of high crystallinity poly-Si films on glass substrate and fabrication of high mobility bottom-gate TFT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of high crystallinity poly-Si films on glass substrate and fabrication of high mobility bottom-gate TFT

著者

和文:	J.W. Lee, K.Shimizu, J.Hanna.
英文:	J.W. Lee, K.Shimizu, J.Hanna.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Non-Crystalline Solids

巻, 号, ページ

Vol. 338 No. 340 pp. 173-177

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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