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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Ab initio Molecular Orbital Study on Hydrogen Radical Addition Reactions to Graphite Surface and Subsequent Initial Surface Process in Silane Plasma Chemical Vapor Deposition 
著者
和文: Kota Sato, Eiji Shinagawa, Kenji Nakajima, Kaori Miyazaki, Hideomi Koinuma.  
英文: Kota Sato, Eiji Shinagawa, Kenji Nakajima, Kaori Miyazaki, Hideomi Koinuma.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys.  
巻, 号, ページ Vol. 42        pp. 7478-7481
出版年月 2003年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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