Deposition of ZnO Film by Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜の作製
英文:	Deposition of ZnO Film by Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator

著者

和文:	Y. Suzaki, S. Ejima, T. Shikama, O. Tanaka, T. Kajitani, H. Koinuma.
英文:	Y. Suzaki, S. Ejima, T. Shikama, O. Tanaka, T. Kajitani, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	材料
英文:	Zairyo/Journal of the Society of Materials Science

巻, 号, ページ

Vol. 51 pp. 1160-1163

出版年月

2002年

出版者

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会議名称

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開催地

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