Amorphous Stability of HfO<sub>2</sub> Based Ternary and Binary Composition Spread Oxide Films as Alternative Gate Dielectric

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Amorphous Stability of HfO₂ Based Ternary and Binary Composition Spread Oxide Films as Alternative Gate Dielectric

著者

和文:	K. Hasegawa, P. Ahmet, N. Okazaki, T. Hasegawa, K. Fujimoto, M. Watanabe, T. Chikyow, H. Koinuma.
英文:	K. Hasegawa, P. Ahmet, N. Okazaki, T. Hasegawa, K. Fujimoto, M. Watanabe, T. Chikyow, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Surf. Sci.

巻, 号, ページ

Vol. 223 pp. 229-232

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: