Combined Dry and Wet Etching Techniques to Form Planar (011) Facets in GaInAsP/InP double Heterostructures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Combined Dry and Wet Etching Techniques to Form Planar (011) Facets in GaInAsP/InP double Heterostructures

著者

和文:	L. A. Coldren, K. Furuya, B. I. Miller, J. A., Rentschler.
英文:	L. A. Coldren, K. Furuya, B. I. Miller, J. A., Rentschler.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Electron. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 18 No. 5 pp. 235-237

出版年月

1982年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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