Electrical properties of 100nm pitch Cr/Au fine electrodes with 40nm width on GaInAs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical properties of 100nm pitch Cr/Au fine electrodes with 40nm width on GaInAs

著者

和文:	H. Hongo, H. Tanaka, Y. Miyamoto, J. Yoshinaga, K. Furuya.
英文:	H. Hongo, H. Tanaka, Y. Miyamoto, J. Yoshinaga, K. Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 35 No. 8A pp. 964-967

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: