Fine patterns of positive-working resists using a polyimide Langmuir-Blodgett film system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fine patterns of positive-working resists using a polyimide Langmuir-Blodgett film system

著者

和文:	Mitsumasa Iwamoto, Shigeo Kasahara, Keiji Iriyama, Yasunari Nishikata, Masa-aki Kakimoto, Yoshio Imai.
英文:	Mitsumasa Iwamoto, Shigeo Kasahara, Keiji Iriyama, Yasunari Nishikata, Masa-aki Kakimoto, Yoshio Imai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 30 No. 2A pp. L218-L221

出版年月

1991年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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