Development of Evaluation Method for Delamination Strength Between Micro-Sized Materials in MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Evaluation Method for Delamination Strength Between Micro-Sized Materials in MEMS Devices

著者

和文:	石山千恵美, J. Hata, S. Koyama, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	C. Ishiyama, J. Hata, S. Koyama, M. Sone, Y. Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Society

巻, 号, ページ

pp. FF4.29, 315p

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 MRS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Hynes Convention Center & Sheraton Boston Hotel Boston, MA

DOI