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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Mechanical Properties Measurement of Microscale Materials for MEMS Application 
著者
和文: 肥後矢吉.  
英文: YAKICHI HIGO.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 102-113
出版年月 2005年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:9th Workshop and IEEE EDS Mini-colloquia on Nanometer CMOS Technology 
開催地
和文: 
英文:Tokyo Institute of Technology , YOKOHAMA , JAPAN 

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