アクチュエータ集積型可変中空光導波路の可変特性と温度無依存化

論文・著書情報

タイトル

和文:	アクチュエータ集積型可変中空光導波路の可変特性と温度無依存化
英文:	Tunability and athermal operation of tunable hollow waveguide with monolithic MEMS actuator

著者

和文:	桜井康樹, 横田康, 松谷晃宏, 坂口孝浩, 小山二三夫.
英文:	Yasuki Sakurai, Yasushi Yokota, Akihiro Matsutani, Takahiro Sakaguchi, Fumio Koyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

No. 22p-Y-16 pp. 1247

出版年月

2006年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2006年春季第53回応用物理学関連連合講演会
英文:	Extended Abstracts (The 53th Spring Meeting) of Jpn. Soc. Appl. Phys.

開催地

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