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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS用フォトレジストのマイクロサイズ曲げ特性に及ぼす露光量の影響 
英文: 
著者
和文: 石山 千恵美, 松崎 純平, 曽根 正人, 肥後 矢吉.  
英文: CHIEMI ISHIYAMA, Junpei Matsuzaki, Masato Sone, YAKICHI HIGO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第55回高分子討論会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 1H14
出版年月 2006年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第55回高分子討論会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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