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論文・著書情報


タイトル
和文:ダイレクトボンディングにおけるO2プラズマ表面処理の光導波路への影響 
英文: 
著者
和文: 櫻井, 齊藤, 武井, 水本.  
英文: 櫻井, 齊藤, 武井, Tetsuya MIZUMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 31a-ZQ-7
出版年月 2005年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2005年春季第52回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文:埼玉 
英文: 

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