ダイレクトボンディングにおけるO2プラズマ表面処理の非相反移相型光アイソレータの光導波特性への影響 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ダイレクトボンディングにおけるO2プラズマ表面処理の非相反移相型光アイソレータの光導波特性への影響
英文:

著者

和文:	櫻井, 齊藤, 武井, 水本.
英文:	櫻井, 齊藤, 武井, Tetsuya MIZUMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 215

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2005年電子情報通信学会エレクトロニクスソサィエティ大会
英文:

開催地

和文:	札幌
英文:

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