Effect of the structural change of hydrogenated microcrystalline silicon thin films prepared by hot wire chemical vapor deposition technique

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of the structural change of hydrogenated microcrystalline silicon thin films prepared by hot wire chemical vapor deposition technique

著者

和文:	Shuichi Hiza, Wataru Matsuda, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shuichi Hiza, Wataru Matsuda, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 7 pp. 5671-5674

出版年月

2006年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI