Properties of Nanocrystalline 3C-SiC:H and SiC:Ge:H Films Deposited at Low Substrate Temperatures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Properties of Nanocrystalline 3C-SiC:H and SiC:Ge:H Films Deposited at Low Substrate Temperatures

著者

和文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Society

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2006年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Materials Research Society Spring Meeting

開催地

和文:
英文: