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論文・著書情報


タイトル
和文:SOI基板を用いた歪緩和Si1-yCy膜の作製 
英文: 
著者
和文: 村野仁彦, 石原英恵, 山田　明, 小長井　誠.  
英文: 村野仁彦, 石原英恵, 山田　明, 小長井　誠.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. -       
出版年月 2006年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2006年春季第53回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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