Characterization of the interfacial reaction between sputter-deposited Ni film and Si substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of the interfacial reaction between sputter-deposited Ni film and Si substrate

著者

和文:	R. Zhou, C.C. Chen, M. Hashimoto, J. Shi, Y. Nakamura.
英文:	R. Zhou, C.C. Chen, M. Hashimoto, J. Shi, Y. Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. A80 pp. 179-182

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI