Electrical properties of Pt/BLT/HfSiON/Si structure for 1T-type ferroelectric memory

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical properties of Pt/BLT/HfSiON/Si structure for 1T-type ferroelectric memory

著者

和文:	H.Hoko, C.Aoki, Y.Tabuchi, T.Tamura, K.Maruyama, Y.Arimoto, H.Ishiwara.
英文:	H.Hoko, C.Aoki, Y.Tabuchi, T.Tamura, K.Maruyama, Y.Arimoto, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Integrated Ferroelectrics

巻, 号, ページ

Vol. 79 pp. 105-111

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI