ダブルビームレーザドップラー干渉計および有限要素法解析によるPZT厚膜の圧電定数の評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ダブルビームレーザドップラー干渉計および有限要素法解析によるPZT厚膜の圧電定数の評価
英文:

著者

和文:	鶴見敬章, 萩本隆寛, 張替貴聖, 掛本博文, 和田智志, 飯島高志.
英文:	鶴見敬章, 萩本隆寛, 張替貴聖, 掛本博文, 和田智志, 飯島高志.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 1

出版年月

2006年12月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第17回日本MRS学術シンポジウム
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開催地

和文:	日本大学駿河台キャンパス
英文:

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