Straight and Smooth Etching of GaN $(1/bar{1}00)$ Plane by Combination of Reactive Ion Etching and KOH Wet Etching Techniques

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Straight and Smooth Etching of GaN $(1/bar{1}00)$ Plane by Combination of Reactive Ion Etching and KOH Wet Etching Techniques

著者

和文:	Morimichi Itoh, Toru Kinoshita, Choshiro Koike, Misaichi Takeuchi, Koji Kawasaki, Yoshinobu Aoyagi.
英文:	Morimichi Itoh, Toru Kinoshita, Choshiro Koike, Misaichi Takeuchi, Koji Kawasaki, Yoshinobu Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	JJAP

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 5A pp. 3988-3991

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: