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論文・著書情報


タイトル
和文:VHFプラズマCVD法によるナノ結晶SiC:H薄膜の低温堆積 
英文: 
著者
和文: 宮島晋介, 澤村　誠, 山田　明, 小長井　誠.  
英文: 宮島晋介, 澤村　誠, 山田　明, 小長井　誠.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 23p-Y-7
出版年月 2006年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第53回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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