Study of the structural properties of a-SiCN:H films using Hexamethyldisilazane for high-quality silicon surface passivation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study of the structural properties of a-SiCN:H films using Hexamethyldisilazane for high-quality silicon surface passivation

著者

和文:	Amornrat Limmanee, Michio Otsubo, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Amornrat Limmanee, Michio Otsubo, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. *

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th World Conference on Photovoltaic Energy Converstion

開催地

和文:
英文:	Hawaii, USA