Properties of nanocrystalline SiC:Ge:H alloy deposited by hot-wire chemical vapor deposition using organosilane and organogermane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Properties of nanocrystalline SiC:Ge:H alloy deposited by hot-wire chemical vapor deposition using organosilane and organogermane

著者

和文:	S. Miyajima, Y. Yashiki, A. Yamada, M. Konagai.
英文:	S. Miyajima, Y. Yashiki, A. Yamada, M. Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. *

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th International Confrence on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process

開催地

和文:
英文:	Gifu, Japan