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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Direct nanoimprint of inorganic-organic hybrid glass 
著者
和文: M. Okinaka, K. Tsukagoshi, Y. Aoyagi.  
英文: M. Okinaka, K. Tsukagoshi, Y. Aoyagi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronics and Nanometer Structures 
巻, 号, ページ Vol. 24    No. 3    pp. 1402-1404
出版年月 2006年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1116/1.2201457

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