La<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Sc<sub>2</sub>O<sub>3</sub>積層構造ゲート絶縁膜による耐熱性向上に関する検討 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	La₂O₃/Sc₂O₃積層構造ゲート絶縁膜による耐熱性向上に関する検討
英文:

著者

和文:	椎野泰洋, 中川健太郎, 角嶋邦之, パールハットアへメト, 杉井信之, 服部健雄, 筒井一生, 岩井　洋.
英文:	椎野泰洋, 中川健太郎, 角嶋邦之, パールハットアへメト, 杉井信之, 服部健雄, 筒井一生, 岩井　洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第53回応用物理学関係連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 834

出版年月

2006年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第53回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文:

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