プラズマドープしたボロンの化学結合形態とその深さ方向分布のSpike RTAによる変化

論文・著書情報

タイトル

和文:	プラズマドープしたボロンの化学結合形態とその深さ方向分布のSpike RTAによる変化
英文:

著者

和文:	松田　徹, 野平博司, 池永英司, 小林勇介, 金　成国, 岡下勝巳, 佐々木雄一朗, 伊藤裕之, 角嶋邦之, 筒井一生, 水野文二, 岩井　洋, 服部健雄.
英文:	松田　徹, 野平博司, 池永英司, 小林勇介, 金　成国, 岡下勝巳, 佐々木雄一朗, 伊藤裕之, 角嶋邦之, 筒井一生, 水野文二, 岩井　洋, 服部健雄.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第67回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 770

出版年月

2006年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第67回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	京都
英文: