弗化物共鳴トンネルデバイス縦方向集積のためのCaF<sub>2</sub>バッファ層ポスト酸化の検討 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	弗化物共鳴トンネルデバイス縦方向集積のためのCaF₂バッファ層ポスト酸化の検討
英文:

著者

和文:	齋藤格広, 前田元輝, 渡邉　聡, 筒井一生.
英文:	齋藤格広, 前田元輝, 渡邉　聡, 筒井一生.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第67回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 3 pp. 1266

出版年月

2006年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第67回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	京都
英文:

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