サファイヤ基板上へAl極性高品質AlN層を形成する改良型フローモジュレーションMOCVD法

論文・著書情報

タイトル

和文:	サファイヤ基板上へAl極性高品質AlN層を形成する改良型フローモジュレーションMOCVD法
英文:	Modifiedflow-modulation MOCVD growth of Al-polar high-quality AlN layers on sapphire

著者

和文:	武内道一, 清水博史, 梶谷亮, 川崎宏治, 木下亨, 高田和哉, 青柳克信.
英文:	M. Takeuchi, H. Shimizu, R. Kajitani, K. Kawasaki. T. Kinoshita, K. Takada, Y. Aoyagi, 青柳克信.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 30p-E-9 pp. 340

出版年月

2006年8月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第67回応用物理学会学術講演会
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開催地

和文:	立命館大学（びわこ●くさつキャンパス）
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