深紫外発光素子用AlGaN層と下地テンプレートAlN層の相関

論文・著書情報

タイトル

和文:	深紫外発光素子用AlGaN層と下地テンプレートAlN層の相関
英文:	The influence AlN templates on crystalline quality of AlGaN layers for deep UV LED

著者

和文:	清水博史, 武内道一, 梶谷亮, 川崎宏治, 青柳克信.
英文:	H. Shimizu, M. Takeuchi, R. Kajitani, K. Kawasaki. Y. Aoyagi, 青柳克信.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 30p-E-10 pp. 340

出版年月

2006年8月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第67回応用物理学会学術講演会
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開催地

和文:	立命館大学（びわこ●くさつキャンパス）
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