SrTiO3シード層上へのPZT薄膜の低温結晶化に及ぼすプラズマの影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	SrTiO3シード層上へのPZT薄膜の低温結晶化に及ぼすプラズマの影響
英文:

著者

和文:	文志原, 田中順三, 篠崎和夫, 脇谷尚樹, 木口賢紀.
英文:	Ji-Won Moon, Junzo Tanaka, Kazuo Shinozaki, Naoki Wakiya, Takanori Kiguchi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2007年年会講演予稿集
英文:	Abstract book of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2007

巻, 号, ページ

No. 2B09 pp. 88

出版年月

2007年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会2007年年会
英文:

開催地

和文:	武蔵工業大学（世田谷）
英文: