Effect of Post-Deposition Annealing on the Electrical Properties of MOCVD-grown Praseodymium  Silicate MIS Diode

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Post-Deposition Annealing on the Electrical Properties of MOCVD-grown Praseodymium Silicate MIS Diode

著者

和文:	Y. Tsuchiya, R. Furukawa, T. Suto, H. Mizuta, S. Oda, H. Nohira, T. Maruizumi, Y. Shiraki.
英文:	Y. Tsuchiya, R. Furukawa, T. Suto, H. Mizuta, S. Oda, H. Nohira, T. Maruizumi, Y. Shiraki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. *

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices (IWDTF2006)

開催地

和文:
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