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論文・著書情報


タイトル
和文:2方向エッチングによるシリコン3次元フォトニック結晶への欠陥導入プロセス 
英文: 
著者
和文: 筆宝大平, 浦川圭, 川田善之, 土屋良重, 水田博, 越田信義, 小田俊理.  
英文: 筆宝大平, 浦川圭, 川田善之, 土屋良重, 水田博, 越田信義, 小田俊理.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 29a-ZD-5
出版年月 2006年8月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第67回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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