ナノエレクトロメカニカル構造を有するシリコンナノ機能デバイス

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノエレクトロメカニカル構造を有するシリコンナノ機能デバイス
英文:

著者

和文:	水田博, 永見祐, Benjamin Pruvost, 百々信幸, 小木純, 松田真之助, 柴村純平, 土屋良重, 斎藤慎一, 新井唯, 木村嘉伸, 嶋田壽一, 小田俊理.
英文:	水田博, 永見祐, Benjamin Pruvost, 百々信幸, 小木純, 松田真之助, 柴村純平, 土屋良重, 斎藤慎一, 新井唯, 木村嘉伸, 嶋田壽一, 小田俊理.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. *

出版年月

2006年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第85回研究集会
英文:

開催地

和文:
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