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論文・著書情報


タイトル
和文:反応性誘導結合型熱プラズマにおける低周波化の効果 
英文: 
著者
和文: 渡辺隆行, 坂野美菜, 田中元史.  
英文: TAKAYUKI WATANABE, 坂野美菜, 田中元史.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会第76期全国大会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 3        pp. 281-282
出版年月 1998年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本機械学会第76期全国大会 
英文: 
開催地
和文:東北大学 
英文: 
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