High Rate Reactive Facing Targets Sputtering for Deposition of Mn-Zn Spinel Ferrite Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Rate Reactive Facing Targets Sputtering for Deposition of Mn-Zn Spinel Ferrite Thin Films

著者

和文:	S. Nakagawa*, S. Saito, T. Kamiki, M. Naoe.
英文:	S. Nakagawa*, S. Saito, T. Kamiki, M. Naoe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of ICF9

巻, 号, ページ

pp. ICF9-CB-6-2004

出版年月

2004年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	9th International Conference on Ferrites (ICF 9)

開催地

和文:
英文:	San Francisco, California, USA