RF-Facing Targets Sputtering System for Deposition of Oxide Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	RF-Facing Targets Sputtering System for Deposition of Oxide Thin Films

著者

和文:	Mitsuru Nagasawa, Kazuhiro TAMAI, Koji Nomura, Yuji Murashima, Shigeki Nakagawa.
英文:	Mitsuru Nagasawa, Kazuhiro TAMAI, Koji Nomura, Yuji Murashima, Shigeki Nakagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of ICCE-14

巻, 号, ページ

Vol. 2c No. OXIDE 1 pp. 6

出版年月

2006年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	14th Annual International Conference on Composites/Nano Engineering (ICCE-14)

開催地

和文:
英文:	Boulder, Colorado, USA