Characterization of amorphous carbon films deposited by surface wave plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of amorphous carbon films deposited by surface wave plasma CVD

著者

和文:	Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.
英文:	Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Diamond and Related Materials

巻, 号, ページ

Vol. 11 No. 11-12 pp. 1828-1831

出版年月

2005年11月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI