Direct wafer bonding of GaInAsP/InP membrane structure on silicon-on-insulator substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct wafer bonding of GaInAsP/InP membrane structure on silicon-on-insulator substrate

著者

和文:	T. Maruyama, T. Okumura, S. Arai.
英文:	T. Maruyama, T. Okumura, S. Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 11 pp. 8717-8718

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

和文:
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DOI